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化学机械研磨(CMP)中影响研磨效果的参数相当多 - 豆丁网
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2009-3-8 · 化學機械研磨（CMP）中影響研磨效果的參數相當多，而研磨墊的孔洞結構在化學機械研磨中扮演甚麼角色，由於問題十分複雜，相 關論文亦只探討研磨墊變形對 ...
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